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二次離子質譜儀有著靜態和動態兩種,本質上區別不大,都是可檢測極低濃度的摻雜劑和雜質。儀器用高能電離轟擊樣品表面,使樣品表面的原子或原子團吸收能量,并通過濺射產生二次粒子。這些帶電粒子通過質量分析儀后,可以得到樣品表面的信息光譜。

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